Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа

Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа / С. И. Мадвейко [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 275-277.