Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Пилипенко, В. А."

Now showing items 1-2 of 2

    • Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» 

      Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П.; Хлопков, Н. С.; Гринцевич, Е. В.; Сарычев, О. Э. (БНТУ, 2020)
      Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» / Я. А. Соловьёв [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 313-315.
      2021-02-09

    • Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники 

      Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2020)
      Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 78-80.
      2021-02-09