Магнетронное напыление
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Горелый, С. Д. Магнетронное напыление / С. Д. Горелый ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (28–29 мая 2020 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 260-261.