Совершенствование процесса получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Another Title
Improvement of the process of obtaining target cathodes from complex silicides for vacuum ion-plasma sources
Bibliographic entry
Совершенствование процесса получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников = Improvement of the process of obtaining target cathodes from complex silicides for vacuum ion-plasma sources / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов : в 2 ч. / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Вып. 41, ч. 2. – С. 7-14.
Abstract
В статье представлены результаты экспериментальных исследований усовершенствованного процесса изготовления катодов-мишеней из комплексного силицида для нанесения защитных покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. В основе технологии использован совмещенный литейно-деформационный способ, включающий получение слитка комплексного силицида никель-титан-кремний с использованием высокоскоростной индукционной плавки, последующего его размола в порошок до требуемой фракции и получение готового изделия с использованием метода прессования. В лабораторных условиях отработаны режимы плавки комплексных силицидов, их размола и последующего прессования. Изготовлены опытные образцы катодов-мишеней и проведена их термическая обработка.
Abstract in another language
The article presents the results of experimental studies of an improved process for the manufacture of target cathodes from complex silicide for the application of protective coatings by the vacuum ion-plasma method. The technology is based on a combined casting-deformation method, including obtaining an ingot of complex nickel-titanium-silicon silicide using high-speed induction melting, then grinding it into powder to the required fraction and obtaining a finished product using the pressing method. In laboratory conditions, the modes of melting complex silicides, their grinding and subsequent pressing have been worked out. Prototypes of target cathodes were made and heat treated.