В статье представлены результаты экспериментальных исследований усовершенствованного процесса изготовления катодов-мишеней из комплексного силицида для нанесения защитных покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. В основе технологии использован совмещенный литейно-деформационный способ, включающий получение слитка комплексного силицида никель-титан-кремний с использованием ...