Конструирование комбинированных катодов и совместимость их с магнетронной распылительной системой
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2010Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.762.8Bibliographic entry
Семянникова, А. А. Конструирование комбинированных катодов и совместимость их с магнетронной распылительной системой / А. А. Семянникова ; науч. рук. Л. Ф. Керженцева // Новые материалы и технологии их обработки : XI Республиканская студенческая научно-техническая конференция, 20-23 апреля 2010 г. / пред. редкол. Н. И. Иваницкий. – Минск : БНТУ, 2010. - С. 160-161.