Неразрушающий контроль изделий с прецизионными поверхностями на основе методов зондовой электрометрии
Another Title
Non-destructive testing of the samples with precision surface on the base of probe electrometry technique
Bibliographic entry
Неразрушающий контроль изделий с прецизионными поверхностями на основе методов зондовой электрометрии = Non-destructive testing of the samples with precision surface on the base of probe electrometry technique / Р. И. Воробей [и др.] // Неразрушающий контроль и диагностика. – 2016. – № 1. – С. 3-16.
Abstract
В настоящей работе рассмотрены принципы контроля прецизионных поверхностей изделий из материалов различной физической природы (металлы, полупроводники, диэлектрики). На основе теоретического анализа и экспериментальных исследований предложено использование принципа многопараметрических измерений применительно к односигнальной измерительной модели. Такой принцип позволяет произвести контроль в условиях недостаточной информативности о свойствах изделия и реализуется на основе модифицированного алгоритма измерений, обеспечивающего автоматический выбор модели объекта контроля.
Abstract in another language
The principles of verification of precision surfaces of various physical nature such as metals, semiconductors and dielectrics examined in the present study. The usage of the multiparametrical measuring principle with regard to the single-signal measurement model is proposed and explained based on theoretical and experimental research. For precision surfaces, this principle based on modified algorithm of measurements ensuring the automatic model selection of the object under test. This leads to test products with the lack of information about their properties.