Энергия взаимодействия частиц при формировании вакуумно-плазменных покрытий
Bibliographic entry
Гречихин, Л. И. Энергия взаимодействия частиц при формировании вакуумно-плазменных покрытий / Л. И. Гречихин, С. А. Иващенко // Весцi Нацыянальнай акадэмii навук Беларусi. Серыя фiзiка-тэхнiчных навук. – 2002. – № 4. – С. 11-17.