Мультисенсорная интегральная микросистема для интеллектного контроля многокомпонентных газов
Bibliographic entry
Колешко, В. М. Мультисенсорная интегральная микросистема для интеллектного контроля многокомпонентных газов / В. М. Колешко, А. В. Гулай, В. А. Гулай // Электроника инфо. – 2010. – № 2. – С. 63-67.
Abstract
В статье представлены конструктивно-технологические решения основных компонентов интегральной сенсорной микросистемы для интеллектного контроля газовой среды. Выполнены проектирование и моделирование интегрального сенсорного интерфейса (в виде «микросистемы на кристалле»), выходные сигналы которого обрабатываются с помощью интеллектуальной системы. Исследованы амплитудно-частотные характеристики операционного усилителя и переходные процессы при использовании синусоидального и импульсного сигналов. Проведено проектирование аналого-цифрового преобразователя для согласования операционного усилителя с входом компьютерной системы, а также цифро-аналогового преобразователя для компьютерного управления температурой нагревателя чувствительного элемента.
Abstract in another language
Structural and technological solutions of sensor microsystems are provided for controlling the composition of gaseous environments. Multilayer structures based on super thin zinc oxide films are used as the sensitive elements of nanosensors. Micro-dopes of rare-earth elements compounds are introduced for improvement of adsorption capacity of the film material. A sensor interface is simulated as a «system on crystal» in the form of a super-big integrated microcircuit. A sensor interface as an electronic device for preliminary procession of sensor signals is realized on a single silicon wafer with a sensitive element. The sensor interface circuit is, for example, an operation amplifier with a sensitive element based on a zinc oxide thin film included in its feedback circuit. A variety of film features in the process of gaseous environment composition control process leads to change of output voltage parameters of the operational amplifier.