Осаждение методом магнетронного распыления многокомпонентных покрытий из композиционных мишеней
Bibliographic entry
Бей, К. И. Осаждение методом магнетронного распыления многокомпонентных покрытий из композиционных мишеней / К. И. Бей ; науч. рук. С. Д. Латушкина // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 2. – С. 15-17.