Нанесение тонких пленок методом катодного распыления
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Волынец, Д. С. Нанесение тонких пленок методом катодного распыления / Д. С. Волынец ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 2. – С. 41-43.