Осаждение алмазоподобных покрытий PVD-методом с использованием планарного ионно-лучевого источника
Bibliographic entry
Комаровская, В. М. Осаждение алмазоподобных покрытий PVD-методом с использованием планарного ионно-лучевого источника / В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 1. – С. 26-28.