Неразрушающее выявление малоразмерных дефектов поверхности материалов с использованием бесконтактного сканирующего зонда Кельвина
Bibliographic entry
Неразрушающее выявление малоразмерных дефектов поверхности материалов с использованием бесконтактного сканирующего зонда Кельвина / А. К. Тявловский [и др.] // Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : материалы симпозиума, Брест, 27–31 мая 2019 г. / под редакцией В. В. Рубаника. – Витебск : ВГТУ, 2019. – С. 642-644.
Abstract
В работе проведены исследования по оценке возможности обнаружения единичных дефектов, включая зоны концентрации механических напряжений, линейные и точечные дефекты поверхности, и погрешности локализации выявляемых дефектов материалов зондом Кельвина заданных геометрических размеров. Выполнены экспериментальные исследования потенциального рельефа диэлектрических образцов с искусственно созданным единичным дефектом.