Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Сборники научных трудов
  • Машиностроение
  • Выпуск 24
  • Том 2
  • Материалы сборника по статьям
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Сборники научных трудов
  • Машиностроение
  • Выпуск 24
  • Том 2
  • Материалы сборника по статьям
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики

Thumbnail
Authors
Колешко, В. М.
Гулай, А. В.
Гулай, В. А.
Полынкова, Е. В.
Date
2009
Publisher
БНТУ
Bibliographic entry
Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики / В. М. Колешко [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 2. – С. 223-228.
Abstract
Рассмотрены особенности инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики и методы их кибернетического моделирования. Исследована технологическая инвариантность процесса формирования туннельных сенсорных наноструктур металл-диэлектрик-металл. Показано, что достижение инвариантности МДМ-наноструктур возможно при выполнении их на основе тонких ВТСП-пленок. Разработан способ получения тонких пленок из ВТСП-материалов для туннельных наноструктур путем распыления фторидных мишеней. Изучен процесс формирования сенсорных ПАВ-наноструктур для контроля давления, инвариантных по отношению к изменению температуры. Выполнен анализ инвариантности сенсорных ПАВ-наноструктур при осаждении на звукопровод тонких пленок фторидов РЗЭ. Установлены оптимальные параметры процесса получения инвариантных сенсорных ПАВ- наноструктур на основе редкоземельных фторидов.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/68747
View/Open
223-228.pdf (540.4Kb)
Collections
  • Материалы сборника по статьям[69]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us