Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики
Bibliographic entry
Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики / В. М. Колешко [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 2. – С. 223-228.
Abstract
Рассмотрены особенности инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики и методы их кибернетического моделирования. Исследована технологическая инвариантность процесса формирования туннельных сенсорных наноструктур металл-диэлектрик-металл. Показано, что достижение инвариантности МДМ-наноструктур возможно при выполнении их на основе тонких ВТСП-пленок. Разработан способ получения тонких пленок из ВТСП-материалов для туннельных наноструктур путем распыления фторидных мишеней. Изучен процесс формирования сенсорных ПАВ-наноструктур для контроля давления, инвариантных по отношению к изменению температуры. Выполнен анализ инвариантности сенсорных ПАВ-наноструктур при осаждении на звукопровод тонких пленок фторидов РЗЭ. Установлены оптимальные параметры процесса получения инвариантных сенсорных ПАВ- наноструктур на основе редкоземельных фторидов.