Browsing Приборы и методы измерений by Author "Кулешов, В. Н."

Now showing items 1-3 of 3

    • Программно-аппаратный комплекс для исследования процессов трения и износа методом «диск на плоскости» 

      Комаров, Ф. Ф.; Пилько, В. В.; Кулешов, В. Н. (БНТУ, 2016)
      Переход точного машиностроения и приборостроения к широкому использованию наноразмерных структур и тонких слоев требует повышения локальности методов измерения по глубине материала. Унифицированные и общепризнанные стандарты методов измерения износостойкости и коэффициента трения слоистых структур и поверхностно-упрочненных материалов в настоящее время отсутствуют. Целью работы ...
      2016-12-12

    • Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления 

      Климович, И. М.; Кулешов, В. Н.; Зайков, В. А.; Бурмаков, А. П.; Комаров, Ф. Ф.; Людчик О. Р. (БНТУ, 2015)
      Неустойчивость параметров разряда и химического состава потоков частиц, поступающих на подложку, в переходных режимах реактивного магнетронного распыления приводит к невоспроизводимости состава покрытий от процесса к процессу. Целью настоящей работы являлась разработка системы контроля расхода газа, позволяющая стационарно поддерживать неравновесное состояние магнетронного разряда ...
      2015-12-30

    • Система стабилизации процесса реактивного магнетронного распыления 

      Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Столяров, А. В. (БНТУ, 2018)
      Пленочные покрытия сегодня позволяют создать большое количество разнообразных структур в электронике, микроэлектронике, оптике, архитектуре и строительстве. Лидирующими технологиями в этой области являются магнетронные технологии осаждения. Проблемой магнетронных методов осаждения является недостаточная воспроизводимость состава и свойств покрытий, обусловленная неустойчивостью ...
      2018-06-18