Browsing Приборы и методы измерений by Author "Жигулин, Д. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ – как метод исследования границы раздела алюминий-поликремний после воздействия длительного и быстрого термических отжигов
Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. (БНТУ, 2024)Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ является одним из основных методов по определению элементного состава вещества. Обладая высокой локальностью и относительно малой глубиной проникновения электронного луча (< 1 мкм), данный метод нашёл широкое применение в области микроэлектроники, как основной метод анализа элементного состава вещества. Метод позволяет исследовать ...2024-07-16