Browsing Сериальные издания by Author "Худолей, А. Л."

Now showing items 1-2 of 2

    • Высокоэффективная финишная обработка поверхностей изделий 

      Копейкина, М. Ю.; Лавриненко, В. И.; Майборода, В. С.; Акулович, Л. М.; Лебедев, В. Я.; Худолей, А. Л. (2017)
      Высокоэффективная финишная обработка поверхностей изделий / Копейкина, М. Ю. [и др.] // Инженер-механик. – 2017. – № 3. – С. 12-15.
      2022-09-19

    • Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем 

      Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А. (БНТУ, 2013)
      Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...
      2013-11-01