Browsing Сериальные издания by Author "Гусев, О. К."
Now showing items 1-12 of 12
-
Алгоритм определения метрологических характеристик широкодиапазонных фотоэлектрических полупроводниковых преобразователей с многозарядными примесями
Гусев, О. К.; Свистун, А. И.; Шадурская, Л. И.; Яржембицкая, Н. В. (БНТУ, 2011)Исследованы метрологические особенности фотоэлектрических полупроводниковых преобразователей (ФЭПП) на основе полупроводников с многозарядными примесями в широком диапазоне плотностей мощности оптического излучения, обусловленные процессами нелинейной рекомбинации. Предложен алгоритм процедуры определения метрологических характеристик таких ФЭПП не только при малых плотностях ...2012-03-27 -
Анализ дефектов поверхности исходных подложек алюминия и его сплавов методом сканирующего зонда Кельвина
Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Мухуров, Н. И.; Шаронов, Г. В.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2017)В настоящее время использование методов зондовой электрометрии в неразрушающем контроле сдерживается сложностью интерпретации результатов измерений, что связано с многофакторностью измерительного сигнала, зависящего от большого количества параметров физико-химического состояния поверхности: отклонений химического состава, механических напряжений, дислокаций, кристаллографической ...2017-03-02 -
Анализ распределения электрофизических и фотоэлектрических свойств нанокомпозитных полимеров модифицированным зондом Кельвина
Пантелеев, К. В.; Кравцевич, А. В.; Ровба, И. А.; Лысенок, В. И.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2017)В настоящее время для анализа однородности свойств материалов широкое распространение получают различные модификации сканирующего зонда Кельвина, позволяющие картировать пространственное распределение электростатического потенциала поверхности. В случае диэлектриков анализ однородности электропотенциального профиля не является достаточным для описания каких-либо конкретных ...2017-12-15 -
Зарядочувствительный метод исследования деформационных процессов
Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2022)В качестве информационного параметра об изменении состояния материала под действием механических напряжений может быть использован поверхностный электростатический потенциал (заряд). Целью работы являлась отработка методик исследования деформационных процессов в металлических и полимерных материалах с использованием зарядочувствительного метода. Проведены экспериментальные ...2022-12-29 -
Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда
Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Пантелеев, К. В.; Самарина, А. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2023)Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе ...2023-08-15 -
Измерительные преобразователи систем оптической диагностики с многофункциональными одноэлементными фотоприемниками
Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2018)Современные измерительные преобразователи систем оптической диагностики должны автоматически оценивать параметры оптического сигнала и переключаться между различными диапазонами энергетической и спектральной характеристиками чувствительности. Это требует применения нескольких фотоприемников, сложных оптических схем и сложных алгоритмов обработки измерительных сигналов. Целью ...2018-09-18 -
Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин
Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2013)Рассмотрено применение метода Кельвина–Зисмана (контактной разности потенциалов) для неразрушающего контроля и выявления дефектов структур кремний-диэлектрик. Метод использовался для визуализации распределения электрического потенциала поверхности и изгиба энергетических зон по поверхности термически окисленной кремниевой пластины, легированной бором. Полученная картина распределения ...2014-06-02 -
Многофункциональный измерительный преобразователь параметров жидких технологических сред
Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Кузьминский, Ю. Г.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шилько, С. В. (БНТУ, 2012)Для разработки многофункционального измерительного преобразователя концентрации и типа раствора в технологическом трубопроводе использована методология измерений параметров объектов в неопределенных состояниях. Показано, что режимы измерений концентрации и типа раствора могут быть реализованы в одном одноэлементном кондуктометрическом преобразователе при условии адаптивного ...2013-02-13 -
Моделирование метрологических характеристик емкостных первичных преобразователей средств зондовой электрометрии
Тявловский, А. К.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2011)Для определения функции преобразования емкостного первичного преобразователя зондового электрометра использован метод комплексно-гармонического анализа. Получено выражение, позволяющее анализировать метрологические характеристики цепи, содержащей динамический конденсатор при любых значениях ее параметров. Проанализированы амплитудно-частотные и фазочастотные характеристики цепи ...2012-03-26 -
Применение метода дифракции рентгеновских лучей для изучения напряжённого состояния поверхности металла при статическом и ударном деформировании
Крень, А. П.; Делендик, М. Н.; Мацулевич, О. В.; Гусев, О. К.; Пантелеев, К. В.; Воробей, Р. И. (БНТУ, 2023)Изучение поля напряжений в пластическом отпечатке и вокруг него имеет большое прикладное значение. Процессы, подобные вдавливанию индентора, используются при дробеструйной обработке для упрочнения поверхности материалов и генерации сжимающих напряжений в поверхностных слоях. Целью работы являлось изучение изменения напряжённо-деформированного состояния в области пластического ...2023-08-15 -
Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2014)Повышение воспроизводимости и достоверности результатов контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин зондовыми зарядочувствительными методами обеспечивается в работе за счет реализации режима самокалибровки зонда Кельвина, при котором в качестве образца для калибровки используется поверхность самой контролируемой пластины. Измерения выполняются в сканирующем ...2014-12-17 -
Характеризация электрофизических свойств границы раздела кремний-двуокись кремния с использованием методов зондовой электрометрии
Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Филипеня, В. А.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2017)Анализ микронеоднородностей в системе кремний-двуокись кремния становится наиболее актуальным в связи с переходом микроэлектронной промышленности к субмикронным проектным нормам и уменьшением толщины подзатворного диэлектрика. Целью исследования являлось развитие методов неразрушающего контроля полупроводниковых пластин на основе определения электрофизических свойств границы ...2017-12-15