| dc.contributor.author | Захлебаева, А. И. | ru |
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | ru |
| dc.coverage.spatial | Санкт-Петербург | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-10-29T09:53:18Z | |
| dc.date.available | 2019-10-29T09:53:18Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Захлебаева, А. И. Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках / А. И. Захлебаева, Г. Г. Горох, О. Г. Реутская // V Всероссийский конгресс молодых ученых : материалы конгресса, (Санкт-Петербург, 12-15 апреля 2016 г.) : в 2 т. – Санкт-Петербург, 2016. – Т. 2. – С. 252-257. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/58425 | |
| dc.description.abstract | Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
