Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния
Bibliographic entry
Францкевич, Н. В. Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. – Минск : БНТУ, 2018. – Т. 3. – С. 429.