Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии
| dc.contributor.author | Фолынсков, Д. И. | |
| dc.contributor.author | Тихоновец, Е. С. | |
| dc.contributor.author | Шадурская, Л. И. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-08-26T07:00:02Z | |
| dc.date.available | 2019-08-26T07:00:02Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Фолынсков, Д. И. Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии / Д. И. Фолынсков, Е. С. Тихоновец, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 236. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/56392 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
