Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии
Bibliographic entry
Фолынсков, Д. И. Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии / Д. И. Фолынсков, Е. С. Тихоновец, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 236.