Методы формирования самоорганизованных SiGe наноструктур
Bibliographic entry
Трухан, Р. Э. Методы формирования самоорганизованных SiGe наноструктур / Р. Э. Трухан, Е. Н. Щербакова, М. И. Маркевич // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 222-223.