| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-12-06T08:27:58Z | |
| dc.date.available | 2013-12-06T08:27:58Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 2. – С. 63–66. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/5522 | |
| dc.description.abstract | Методами просвечивающей электронной микроскопии, электронографии и энергодисперсионного рентгеновского микроанализа проведены исследования элементного состава, закономерностей структурных и фазовых превращений, происходящих в тонкопленочных системах Si–Fe–Si и TiN–Ti–Si при импульсном фотонном отжиге в зависимости от плотности энергии облучения. Определены оптимальные параметры импульсного фотонного отжига для формирования на кремнии тонких пленок FeSi2 β-модификации и TiSi2 в модификации C54. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 621.315 | ru |
| dc.relation.journal | Наука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 2. | ru |
