Измерение вертикального рельефа на металлографических микроскопах производства ОАО «Оптоэлектронные системы»
Another Title
The measurement of the vertical relief on metal-graphic microscopes of production of OJC «Optoelectronic systems»
Bibliographic entry
Анисович, А. Г. Измерение вертикального рельефа на металлографических микроскопах производства ОАО «Оптоэлектронные системы» = The measurement of the vertical relief on metal-graphic microscopes of production of OJC «Optoelectronic systems» / А. Г. Анисович, А. С. Буйницкая // Литье и металлургия. – 2019. – № 2. – С. 117-121.
Abstract
Проиллюстрированы возможности измерения глубины рельефа поверхности на металлографических микроскопах производства ОАО «Оптоэлектронные системы». Для микроскопов МИ-1 и МИКРО-200 рассматривается методика определения высоты рельефа, в основу которой положена связь между углом поворота барабана настройки точной фокусировки и вертикальным перемещением предметного столика. Приводятся примеры измерения глубины кратеров после воздействия лазерного излучения на металлическую поверхность. Для микроскопов МИ-1 и МИКРО-200 глубина лунки была определена как 99,36 и 99,8 мкм соответственно, что согласуется с данными профилометра (∼100 мкм). Для плоскопараллельной кварцевой пластинки результаты измерений составили 0,435 мкм при определении микроскопически, а также объект-микрометром. Рассматривается возможность определения толщины покрытий нитрида титана методом дифференциально-интерференционного контраста. Метод позволяет определение толщины по разности интерференционных цветов, если участки изображения находятся на различной высоте. Оценить толщину покрытия можно с использованием номограммы двойного лучепреломления.
Abstract in another language
The possibilities of measuring the depth of the surface relief on metallographic microscopes manufactured by OJSC «Optoelectronic systems» are illustrated. For the microscopes MI-1 and MICRO-200 a technique for determining the height of the relief is considered, which is based on the relationship between the angle of rotation of the drum tincture of precise focus and vertical movement of the object table. Examples of crater depth measurements after exposure to laser radiation on a metal surface are given. For MI-1 and MICRO-200 microscopes, the depth of the well was determined as 99.36 and 99.8 μm, respectively, which is consistent with the profilometer data (∼100 μm). For a plane-parallel quartz plate, the measurement results were 0.435 μm when determined microscopically, as well as the object-micrometer. The possibility of determining the thickness of titanium nitride coatings by differential interference contrast is considered. The method allows the determination of the thickness of the difference in interference colors, if the image areas are at different heights. The thickness of the coating can be estimated using a nomogram of double refraction.
View/
Collections
- № 2[24]