Полупроводниковые сенсорные устройства на кремниевых подложках
Authors
Date
2018Publisher
Bibliographic entry
Полупроводниковые сенсорные устройства на кремниевых подложках / К. Н. Горбаченя [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 505-506.