Browsing Выпуск 34 by Author "Титко, Д. С."
Now showing items 1-1 of 1
-
Методы контроля оригиналов топологии полупроводниковых приборов на фотошаблонах, основанные на моделировании процессов фотолитографии
Титко, Д. С. (БНТУ, 2019)Титко, Д. С. Методы контроля оригиналов топологии полупроводниковых приборов на фотошаблонах, основанные на моделировании процессов фотолитографии / Д. С. Титко // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – ...2019-04-29