Влияние потенциала смещения на структуру и механические свойства покрытий Ti – Al – C – N
Date
2018Another Title
Influence of bias potential on the structure and mechanical properties of Ti – Al – C – N coatings
Bibliographic entry
Влияние потенциала смещения на структуру и механические свойства покрытий Ti – Al – C – N = Influence of bias potential on the structure and mechanical properties of Ti – Al – C – N coatings / И. М. Климович [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.
Abstract
Исследовано влияние потенциала смещения подложки на состав, структуру и коэффициент трения наноструктурных покрытий Ti – Al – C – N. Установлено, что с ростом потенциала смещения происходит уменьшение соотношения между интенсивностями рефлексов I(111)/I(200). При увеличении потенциала смещения от –90 до –200 В структура
покрытия изменяется от столбчатой к мелкозернистой. Обнаружено, что наименьший коэффициент трения соответствует покрытию, осажденному при напряжении смещения –150 В.
Abstract in another language
The influence of the substrate bias potential on the composition, structure, and coefficient of friction of nanostructured coatings of Ti – Al – C – N was studied. It was established that the ratio between thereflexes intensities I(111)/I(200) decreases with increasing bias potential. With increasing bias potential from –90 to –200 V, the structure of the coating varies from columnar to fine-grained. It was found that the smallest coefficient of friction corresponds to the coating deposited at a bias voltage of –150 V.