Морфология поверхности ниобиевых покрытий, полученных на медных подложках электронно-лучевым напылением
Date
2018Another Title
Surface morphology of niobium coatings obtained by electron beam physical vapour deposition onto the copper substrates
Bibliographic entry
Морфология поверхности ниобиевых покрытий, полученных на медных подложках электронно-лучевым напылением = Surface morphology of niobium coatings obtained by electron beam physical vapour deposition onto the copper substrates / С. В. Юревич [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.
Abstract
Исследована морфология ниобиевых покрытий, полученных вакуумным электронно-лучевым термическим напылением на медных подложках с различной шероховатостью. Установлено, что при напылении покрытия толщиной 0,3 мкм на подложки с различным исходным состоянием шероховатость поверхности покрытия соответствует шероховатости подложки. При напылении покрытия 1 мкм на подложку с Rz 0,237–0,447 мкм и Ra 0,039–0,085 мкм верхняя граница диапазона значений Rz снижается в 1,2–1,5 раза, Ra – в 2 раза.
Abstract in another language
The surface morphology of the niobium coatings obtained by electron beam physical vapour deposition onto the copper substrates with various roughness is investigated. When ≈ 0.3 μm thickness coating is deposited on substrates with different surface condition, the roughness of the coating repeats the substrate roughness. When the ≈1 μm coating is deposited on the substrate with Rz 0.237–0.447 μm and Ra 0.039–0.085 μm, the upper limit of the Rz value range decreases in 1.2–1.5 times, Ra – in imes.