Морфология поверхности ниобиевых покрытий, полученных на медных подложках электронно-лучевым напылением
Loading...
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Surface morphology of niobium coatings obtained by electron beam physical vapour deposition onto the copper substrates
Abstract
Исследована морфология ниобиевых покрытий, полученных вакуумным электронно-лучевым термическим напылением на медных подложках с различной шероховатостью. Установлено, что при напылении покрытия толщиной 0,3 мкм на подложки с различным исходным состоянием шероховатость поверхности покрытия соответствует шероховатости подложки. При напылении покрытия 1 мкм на подложку с Rz 0,237–0,447 мкм и Ra 0,039–0,085 мкм верхняя граница диапазона значений Rz снижается в 1,2–1,5 раза, Ra – в 2 раза.
item.page.description-other
The surface morphology of the niobium coatings obtained by electron beam physical vapour deposition onto the copper substrates with various roughness is investigated. When ≈ 0.3 μm thickness coating is deposited on substrates with different surface condition, the roughness of the coating repeats the substrate roughness. When the ≈1 μm coating is deposited on the substrate with Rz 0.237–0.447 μm and Ra 0.039–0.085 μm, the upper limit of the Rz value range decreases in 1.2–1.5 times, Ra – in imes.
Description
Citation
Морфология поверхности ниобиевых покрытий, полученных на медных подложках электронно-лучевым напылением = Surface morphology of niobium coatings obtained by electron beam physical vapour deposition onto the copper substrates / С. В. Юревич [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.