Исследование особенностей формирования многокомпонентных Ti – Al – N покрытий способом магнетронного распыления композиционных мишеней различного состава
Date
2018Another Title
Investigation of formation features of multicomponent Ti – Al – N coatings by magnetron sputtering method of different composition targets
Bibliographic entry
Исследование особенностей формирования многокомпонентных Ti – Al – N покрытий способом магнетронного распыления композиционных мишеней различного состава = Investigation of formation features of multicomponent Ti – Al – N coatings by magnetron sputtering method of different composition targets / О. И. Посылкина [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.
Abstract
Приведены результаты исследования формирования многокомпонентных покрытий Ti – Al – N методом магнетронного распыления. Установлены особенности работы магнетронной системы при использовании мишеней Ti + Al и TiN + Al. Определены оптимальные технологические параметры осаждения покрытий Ti – Al – N с высокими значениями микротвердости (34–37 ГПа), низким значением коэффициента трения (0,4–0,45). Показано, что покрытия сохраняют высокую микротвердость при нагреве до 600 °С.
Abstract in another language
The research results on the formation of multicomponent Ti – Al – N coatings by magnetron sputtering are presented. Specific features of the magnetron system operation are determined when using Ti + Al and TiN + Al targets. Optimal technological parameters of deposition of Ti – Al – N coatings with high microhardnes (34–37 GPa), low friction coefficient (0.4–0.45) were defined. It is shown that coatings maintain high microhardness when heated to 600 °C.