Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | |
| dc.contributor.author | Слуцкий, А. Г. | |
| dc.contributor.author | Шейнерт, В. А. | |
| dc.contributor.author | Ковалевич, Э. В. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-10T09:16:50Z | |
| dc.date.available | 2019-04-10T09:16:50Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Вып. 39. – С. 107-111. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/51652 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников | ru |
| dc.type | Article | ru |
