Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Мадвейко, С. И."
Now showing items 1-2 of 2
-
Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
Бельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С. (БНТУ, 2018)Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241.2019-04-25 -
Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в n2 в трубчатом электроде
Божко, А. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С. (БНТУ, 2018)Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в n2 в трубчатом электроде / А. И. Божко [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 247-248.2019-04-25