Browsing Материалы сборника по статьям by Author "Юхневич, А. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов
Юхневич, А. В.; Майер, И. А.; Усенко, А. Е. (БНТУ, 2013)Юхневич, А. В. К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов / А. В. Юхневич, И. А. Майер, А. Е. Усенко // Теоретическая и прикладная механика. Выпуск 28 : международный научно-технический сборник / под ред. А. В. Чигарева ; БНТУ. – Минск, 2013. – С. 123-126.2013-02-12