Browsing Материалы сборника по статьям by Author "Волчек, В. С."
Now showing items 1-1 of 1
-
Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии
Волчек, В. С. (БНТУ, 2015)Волчек, В. С. Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии / В. С. Волчек ; науч. рук. В. Р. Стемпицкий // НИРС МСФ-2015 : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций машиностроительного факультета) [Электронный ресурс] / ред. А. М. Авсиевич, С. И. Адаменкова, Ю. В. Василевич ; Белорусский ...2015-10-27