Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Оджаев, В. Б."
Now showing items 1-1 of 1
-
Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии
Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2015)Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 471-472.2016-05-04