Методика исследования точности измерения толщины тонкопленочных оптических покрытий в процессе их нанесения
Bibliographic entry
Шахлевич, А. В. Методика исследования точности измерения толщины тонкопленочных оптических покрытий в процессе их нанесения / А. В. Шахлевич, С. С. Соколовский // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 307.