Лихачева, А. С. Электронно–стимулированное травление в микролитографии / А. С. Лихачева, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 209-210.