Методология решения проблемы модернизации генератора парогазовых смесей для прецизионного лазерного легирования эпитаксиальных структур
Bibliographic entry
Боярщонок, Е. В. Методология решения проблемы модернизации генератора парогазовых смесей для прецизионного лазерного легирования эпитаксиальных структур / Е. В. Боярщонок, А. И. Лойко // Материалы Международной научно-технической конференции "Информационные технологии в технических, политических и социально-экономических системах" / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 152.