Технологии нано- и микросистемной техники
| dc.contributor.other | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-07-08T13:38:02Z | |
| dc.date.available | 2018-07-08T13:38:02Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Технологии нано- и микросистемной техники [Электронный ресурс] : учебно-методический комплекс для студентов спец. 1-38 01 04 "Микро- и наносистемная техника" / Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Микро- и нанотехника" ; сост. Е. Н. Щербакова. – Минск : БНТУ, 2018. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/43916 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологии нано- и микросистемной техники | ru |
| dc.title.alternative | Учебно-методический комплекс для студентов спец. 1-38 01 04 "Микро- и наносистемная техника" | ru |
| dc.type | Book | ru |
| dc.type | Learning Object | ru |
