Твердофазный метод легирования эпитаксиальных структур
Bibliographic entry
Гусев, О. К. Твердофазный метод легирования эпитаксиальных структур / О. К. Гусев, Л. И. Шадурская // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 15-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2017. - Т. 2. - С. 216.