Browsing Т. 9, № 1 by Author "Зеленин, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Оценка размеров топографических дефектов полупроводниковых кремниевых структур
Сенько, С. Ф.; Зеленин, В. А. (БНТУ, 2018)Влияние неплоскостности полупроводниковых пластин на характеристики изготавливаемых приборов проявляется через расфокусировку изображения топологии формируемой структуры и снижение разрешения при проведении операций фотолитографии. Для качественного контроля неплоскостности широко используется метод Makyoh топографии, который однако не позволяет получить количественные характеристики ...2018-03-17