Browsing 2018 by Author "Сенько, С. Ф."

Now showing items 1-2 of 2

    • Измерение локальных напряжений в полупроводниковых кремниевых структурах 

      Сенько, С. Ф.; Зеленин, В. А. (БНТУ, 2018)
      Распределение остаточных напряжений в многослойной полупроводниковой структуре носит сложный характер и оказывает существенное влияние на характеристики и выход годных приборов. В связи с этим их исследование является одной из актуальных задач современного приборостроения. Цель настоящей работы заключалась в разработке методов оценки фактического распределения остаточных напряжений ...
      2018-09-18

    • Оценка размеров топографических дефектов полупроводниковых кремниевых структур 

      Сенько, С. Ф.; Зеленин, В. А. (БНТУ, 2018)
      Влияние неплоскостности полупроводниковых пластин на характеристики изготавливаемых приборов проявляется через расфокусировку изображения топологии формируемой структуры и снижение разрешения при проведении операций фотолитографии. Для качественного контроля неплоскостности широко используется метод Makyoh топографии, который однако не позволяет получить количественные характеристики ...
      2018-03-17