Физика нано- и микросистем
Another Title
Методическое пособие к практическим занятиям для студентов специальности 1-38 01 04 "Микро- и наносистемная техника" и 1-41 01 01 "Технология материалов и компонентов электронной техники"
Bibliographic entry
Белогуров, Е. А. Физика нано- и микросистем : методическое пособие к практическим занятиям для студентов специальности 1-38 01 04 "Микро- и наносистемная техника" и 1-41 01 01 "Технология материалов и компонентов электронной техники" / Е. А. Белогуров, В. В. Хатько, Я. И. Шукевич ; Белорусский национальный технический университет, Кафедра микро- и нанотехники. – Минск : БНТУ, 2011. – 76 с.
Abstract
Методическое пособие содержит краткие сведения из области физики нано- и микросистем, задачи, которые могут быть решены как аналитическим способом, так и с помощью расчетов на персональном компьютере с использованием пакета программ ANSYS. Пособие предназначено для практического закрепления знаний, полученных студентами при прослушивании курса по дисциплине «Физика нано- и микросистем».