Browsing Приборостроение by Author "Чижов, И. В."

Now showing items 1-2 of 2

    • Свойства наноструктурированных нитридных покрытий TiAlCuN для микромеханических приборов 

      Константинов, С. В.; Комаров, Ф. Ф.; Чижов, И. В.; Зайков, В. А. (БНТУ, 2022)
      Сформированы нитридные покрытия TiAlCuN на подложках из монокристаллического кремния (100) и титана марки ВТ1-0 магнетронным методом. Проведены исследования элементного состава, структуры и механических свойств полученных покрытий. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,60 до величины α = 0,47 приводит к увеличению скорости осаждения покры- тия TiAlCuN ...
      2022-12-28

    • Электрофизические свойства наноструктурированных покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN для задач космического приборостроения 

      Константинов, С. В.; Комаров, Ф. Ф.; Чижов, И. В.; Зайков, В. А. (БНТУ, 2023)
      Сформированы образцы нитридных и карбонитриных покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN. Прове- дены измерения поверхностного R и удельного Rуд сопротивления нитридных и карбонитридных покры- тий TiAlSiN, TiAlSiCN четырехзондовым методом при помощи цифрового прибора ИУС-3. Установлено, что все сформированные покрытия нитрида TiAlSiN и карбонитрида TiAlSiN с добавлением кремния Si имеют небольшие ...
      2023-12-21