Browsing Приборостроение by Author "Бельский, Д. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
Бельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С. (БНТУ, 2018)Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241.2019-04-25