Зондовый ионизационный электрометр для устройств визуализации потенциального рельефа прецизионных поверхностей

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Жарин, А. Л.

Date

2012

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

539.21:537.86; 681.2-027.

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) :192

Bibliographic entry

Зондовый ионизационный электрометр для устройств визуализации потенциального рельефа прецизионных поверхностей : отчет о НИР (заключительный) : 192 / Белорусский национальный технический университет; рук. Жарин А. Л. ., исполн. Воробей Р. И., исполн. Тявловский А. К. [и др.]. – Минск, 2012. – 47 с. – Библиогр.: С. 33-37. - № ГР 20101859

Abstract

Объектом исследования являлись принципы зондовой электрометрии на основе ионизационного метода электростатических измерений с предельно малыми уровнями ионизации зазора зонд-образец. Целью работы являлась разработка и реализация теоретических и технических принципов построения зондовых электрометров, основанных на ионизационном методе электростатических измерений, с предельно малыми уровнями ионизации зазора зонд-образец для создания новых методов зондовой микроскопии.