Зондовый ионизационный электрометр для устройств визуализации потенциального рельефа прецизионных поверхностей

Воробей, Р. И.; Тявловский, А. К.; Сопряков, В. И.; Дубаневич, А. В.

Authors

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Жарин, А. Л.

Date

2012

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20101859

Bibliographic entry

Зондовый ионизационный электрометр для устройств визуализации потенциального рельефа прецизионных поверхностей : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20101859 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. Л. Жарин ; исполн.: Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : [б. и.], 2012.

Abstract

Объектом исследования являлись принципы зондовой электрометрии на основе ионизационного метода электростатических измерений с предельно малыми уровнями ионизации зазора зонд-образец. Целью работы являлась разработка и реализация теоретических и технических принципов построения зондовых электрометров, основанных на ионизационном методе электростатических измерений, с предельно малыми уровнями ионизации зазора зонд-образец для создания новых методов зондовой микроскопии.