Разработка принципов зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина
Loading...
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20101661
Abstract
Объектом исследования являются принципы зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина, их теоретическое обоснование и способы практической реализации. Целью работы является разработка физических основ для создания новых методов и средств измерений и неразрушающего контроля параметров прецизионных поверхностей, включая поверхности с проводящими, полупроводниковыми и диэлектрическими свойствами.
item.page.description-other
Description
Citation
Разработка принципов зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20101661 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. К. Тявловский ; исполн.: А. И. Свистун, Н. В. Яржембицкая. – Минск : [б. и.], 2012.