Разработка принципов зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина

Свистун, А. И.; Яржембицкая, Н. В.

Authors

Свистун, А. И.

Яржембицкая, Н. В.

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Тявловский, А. К.

Date

2012

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20101661

Bibliographic entry

Разработка принципов зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20101661 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. К. Тявловский ; исполн.: А. И. Свистун, Н. В. Яржембицкая. – Минск : [б. и.], 2012.

Abstract

Объектом исследования являются принципы зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина, их теоретическое обоснование и способы практической реализации. Целью работы является разработка физических основ для создания новых методов и средств измерений и неразрушающего контроля параметров прецизионных поверхностей, включая поверхности с проводящими, полупроводниковыми и диэлектрическими свойствами.