Методы и средства измерения контактной разности потенциалов на основе анализа компенсационной зависимости зонда Кельвина

Abstract

Наиболее перспективными для контроля состояния поверхностей по электростатическому потенциалу являются методы контактной разности потенциалов (КРП). В общем случае методы КРП являются бесконтактными. Они не требуют дополнительных воздействий на измеряемую поверхность и не вносят искажений в их поверхностное состояние. Отличительной особенностью методов КРП является измерение относительно большого участка поверхности (до нескольких квадратных миллиметров). При этом в случае металлов и сплавов толщина слоя, участвующего в формировании информации, составляет несколько десятых долей нанометра. Последнее сопоставимо с атомно-силовой и туннельной микроскопией. В рамках диссертационной работы проведен анализ существующих методов и средств измерения КРП, разработаны унифицированные подходы к конструированию функционально законченных измерителей КРП, как на основе метода Кельвина–Зисмана, так и на основе разработанного не компенсационного метода измерения КРП.