Оптимизация процесса формирования вакуумно-плазменных покрытий на диэлектрических материалах
Bibliographic entry
Оптимизация процесса формирования вакуумно-плазменных покрытий на диэлектрических материалах / И. С. Фролов [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов. Вып. 30 / редкол.: В. К. Шелег (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2017. – С. 180-184.
Abstract
Описан механизм формирования вакуумно-плазменных покрытий на диэлектрических материалах. Предположена методика определения коэффициента потенциальной ионно-электронной эмиссии. Приведен расчет оптимального количества изделий, загружаемых в вакуумную камеру, при котором обеспечивается высокое качество покрытий и максимальная производительность процесса.