Browsing Наука и Техника by Author "Чапланов, А. М."
Now showing items 1-2 of 2
-
Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов
Маркевич, М. И.; Чапланов, А. М.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2012)Маркевич, М. И. Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука и техника: международный научно-технический. – 2012. - № 5. - С. 13 - 16.2013-01-25 -
Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов
Маркевич, М. И.; Чапланов, А. М.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2013)Методами просвечивающей электронной микроскопии, электронографии и энергодисперсионного рентгеновского микроанализа проведены исследования элементного состава, закономерностей структурных и фазовых превращений, происходящих в тонкопленочных системах Si–Fe–Si и TiN–Ti–Si при импульсном фотонном отжиге в зависимости от плотности энергии облучения. Определены оптимальные параметры ...2013-12-06